비아트론, 소부장 으뜸기업 선정..."120억원 규모 반도체 장비 개발"

디스플레이 열처리 장비가 주력인 비아트론이 산업통상부 주관 '소재부품장비 으뜸기업'에 선정됐다고 1일 밝혔다. 비아트론은 국내 종합반도체 기업 등과 120억여원 규모 급속열처리(RTP) 장비를 개발한다.

비아트론은 "반도체 공정에 필수인 RTP 기술 우수성과 경쟁력을 인정받았다"며 "고성능 열처리 기술을 기반으로 3D D램 등 차세대 3D 반도체 공정에 최적화한 RTP 장비를 개발할 계획"이라고 설명했다.

비아트론은 증착과 식각 공정 챔버를 한 장비 안에 통합한 올인원 타입 플랫폼을 구축해 공정 효율과 생산성을 높일 계획이다. 비아트론은 "기존 램프 기반 열처리 방식은 공정별로 상이한 온도 조건에 신속하게 대응하는 데 제약이 있었다"며 "레이저 기반의 빠르고 정밀한 온도 제어 기술로 한계를 개선하고, 기존 장비에서 구현하기 어려웠던 통합형 공정 플랫폼 개발을 추진하고 있다"고 덧붙였다.

비아트론은 "반도체 소자가 초미세, 고집적화하면서 박막 품질을 좌우하는 열처리 공정 중요성이 커지고 있다"며 "RTP 기술 경쟁력을 강화해 글로벌 반도체 장비 시장에 성공적으로 진입하겠다"고 말했다.