평택서 반도체 가스 저감기술 시험·검증한다

(평택=연합뉴스) 최해민 기자 = 경기 평택시는 다음 달 2일 '반도체 환경설비 오픈랩'을 개소한다고 27일 밝혔다.

오픈랩은 평택시와 평택산업진흥원, 한국생산기술연구원 등이 협력해 추진하는 '반도체 공정 가스 저감 실증'을 위한 공간이다. 평택대학교 연구시설동 내에 100㎡ 규모로 조성됐다.

내부에는 플라스마 스크러버와 습식 집진기 등 유해 가스를 처리하는 고가의 장비가 갖춰졌다.

이곳에선 앞으로 5년간 관내 소재·부품·장비 기업이 반도체 공정에서 발생하는 유해 가스를 저감하는 기술을 실증하게 된다.

1단계 사업 기간(1~2차 연도)에는 올해 상반기 선정한 관내 기업 5곳이 실증에 참여한다.

이들 기업은 한국생산기술연구원의 기술 자문을 받아 보유 기술을 향상하는 후속 연구도 진행하게 된다.

시는 2단계(3~5차 연도) 사업 기간 오픈랩 이용 기업과 실증 과제 등 사업 계획은 추후 구체화할 예정이다.

반도체 환경설비 오픈랩은 2024년 8월 출범한 평택시 반도체산업 성장동력추진단의 정책 제안에 따라 마련됐으며 총사업비 7억8천만원은 평택산업진흥원과 한국생산기술연구원, 참여 기업 등이 분담했다.